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1.3 Space Lattices 1.3.3 Crystal Planes and Miller Indices 실제 크리스탈을 사용할 때 크리스탈을 여러 목적에 맞게 잘라서 사용합니다. 이 과정에서 표면은 필연적으로 발생할 수밖에 없습니다. 반도체 디바이스는 그러한 표면에 또는 표면 근처에서 공정이 이루어지기 때문에, 표면의 특성이 디바이스에 직접적으로 영향을 줍니다. 따라서 표면을 잘 만들어야 성능이 좋은 반도체 디바이스를 만들 수 있습니다. 그렇다면 먼저 표면에 대해 표현을 할 수 있어야겠죠? 오늘은 그 방법에 대해 간단하게 알아보겠습니다. 예제를 통해서 설명드리겠습니다. Figure 1.6을 보면, 어떤 평면이 표현되어 있습니다. 앞서 살펴봤던 lattice와 lattice point들이 표현되어 있는 ..
Semiconductor/Device Physics
2020. 5. 13. 20:19